上海峰志儀器有限公司銷售的晶圓晶片表面瑕疵缺陷檢查燈，又叫硅片研磨目檢黃光燈，美國路陽從2010到現在一直致力于為客戶研發更適合的表面瑕疵檢查燈，近根據晶圓晶片客戶要求開發新款應用于半導體晶圓晶片表面瑕疵檢查燈LUYOR-3318，內置30W大功率led模組發光，可檢查出半導體晶圓表面1um瑕疵，瑕疵包含冗余物（如微小顆粒、灰塵、晶圓加工前一個工序的殘留物）和機械損傷。

表面檢查燈LUYOR-3318采用人眼敏感510-590NM之間波長光，為桌面式檢查燈，可檢查到1um以下的刮痕或微粒子，并且具有綠光和黃光2種顏色的復合光，幾乎可檢測出塵埃，大大降低晶圓晶片不良率。使用壽命為2萬小時以上。光源強度可達90000LX，小可以檢測1μ的表面臟污，比傳統的檢查燈，效用增強10倍。

紫外表面檢查燈LUYOR-3318UV是一款臺式紫外wafer晶片晶圓表面瑕疵檢查燈，高強度紫外線，柔性軟管支撐，可多種角度照射，可解放雙手方便各種測試; 高強度紫外線可細微檢測出晶圓表面各種瑕疵，紫外燈的光束輪廓非常均勻，沒有任何足跡顯示LED的陰影，黑點或其他干擾缺陷。

另外美國路陽還生產便攜式平行光表面檢查燈LUYOR-3320，該款表面檢查燈也可選擇黃光，綠光、白光和紫外光等多種波段，可選擇220v交流供電，也可選擇鋰電池組供電。

LUYOR-3318產品介紹請瀏覽：LUYOR-3318表面檢查燈

一片晶圓片表面分布數十萬單獨的晶片，在做成芯片之前，需要對晶圓片進行相應的缺陷檢查。美國路陽LUYOR-3318系列于晶圓片表面瑕疵缺陷檢查，以檢查晶圓片表面飛塵為例演示：

一、測量需求

晶圓片表面飛塵

二、測量步驟

1）準備好晶圓片表面缺陷檢測燈調整至合適的位置

2）戴好相應的測試裝備（手套、眼鏡）

3）手拿晶圓片開始檢測，查看表面飛塵情況，并調試燈光知道觀察效果明顯

4）做相應的分類及記錄

如上體所示，半導體晶圓片缺陷檢查燈LUYOR-3318系列白光、黃光，綠光都能看好的查看晶圓片表面的飛塵，除了飛塵，也可以檢查出晶圓片表面的刮痕等缺陷。由于手機拍不出微小的瑕疵，需要查看的，可聯系上海峰志儀器有限公司或美國路陽上海公司（免費請根據網頁底部聯系方式聯系4006-254-365）申請樣機試用。

美國路陽從2010年專注于檢查燈的研究（我們掌握了核心技術，我們可以提供不同照度的平行燈，它們可滿足不同客戶的要求），用于晶圓片、LCD、屏幕，基材……表面瑕疵（劃痕、微塵、凹凸、油墨）檢查，精度可達到1um。